FEI最新推出的Nova NanoSEM™ 30系列SEM主要针对高端领域，适用领域广泛，可以在低真空下实现对非覆膜样品和绝缘样品的检测，如纳米颗粒、多孔材料、绝缘衬底等。除了通常的图像显示和分析功能，NOVA NanoSEM 30系列还可以为研发人员提供全新的电子束光刻、电子束淀积和在线实验操作和测试原型样机功能。