VLSI Research Inc调研机构排出2006年芯片设备厂商座次，其中应用材料、TEL和ASML连续五年占据前三名。
KLA-Tencor 2005年与2006年连续两年稳居第四，而Lam Research增长强劲，排名由2004与2005年的第七位上升至2006年的第五位。
来自：VLSI Research Inc.
2006年芯片设备销售达到535亿美元，较2005年增长23%。其中晶圆制造设备在2006年增长28%，而测试设备增长14%，封装设备增长8%。
VLSI表示，6家公司2006年销售额增长率超过20%，其中Lam Research 59%，ASML 44%，Applied Materials34%，Dainippon Screen 32%，Novellus 26%，Nikon 21%。排名前十位的公司多数达到了两位数的增展。
