Surfex-300是用于300mm晶圆盒的一种部件清洗检测站。该系统快速、对或大或小部件的测试非常容易。测试成本为传统方法的1/10。Surfex-300结合了超声波提取、颗粒测量、高纯流体学和自动软件控制以获得对复杂部件高质量的清洗。
　　Particle Measuring Systems,　 www.pmeasuring.com.